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線馬空氣軸承運動平台
XYZ龍門式平台

XY全氣浮設計，優異的速度穩定性，於低速時仍具極佳之速度穩定性。

✅ XY全氣浮設計，優異的速度穩定性於低速時仍具極佳之速度穩定性，<0.1%@100mm/s
✅ Z軸採磁力棒或氣壓配重設計，兼具高速與高精度特性
✅ 高定位精度,可達士1μm

產業應用
微細加工設備、3D量測設備、3D雕刻設備、晶圓切割。

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業務部連絡窗口 Diana
+886-3-569-6060 ext.2006
service@toyonano.com

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