產品 | 東佑達奈米- TOYO NANO

LBT Series

LBT210

LBT 空氣軸承模組 – 新世代奈米級精密定位平台

LBT 空氣軸承模組是東佑達奈米針對先端半導體與面板製程設備需求所開發的新世代奈米級空氣軸承定位平台，適用於 Micro LED、半導體 AOI、PCB 檢測、自動化精密量測、雷射切割等高端產業。此平台採用專利氣浮軸承技術，可在千分之一秒內達成奈米級誤差範圍，大幅縮短運動控制整定時間，降低元件磨耗，顯著提升設備生產效率與可靠性，滿足市場對有限空間、高速運行與極致精度的嚴苛要求。此外，模組化設計可有效降低導入時間與人力成本，為目標客戶提供更高效、穩定的自動化解決方案。

技術規格
✅ 重複定位精度：±0.25 μm / 300 mm
✅ 速度漣波：0.1% / 100 mm/s
✅ 平面 / 直線度：±0.75 μm / 300 mm
✅ 自由度 Pitch、Yaw：±2 arc sec

平台採用專利氣浮軸承結構，可於千分之一秒內達到奈米誤差內要求，大幅減少運動控制整定時間與元件磨耗率，提升目標客戶設備生產力與可靠性，滿足市場上受空間限制、高速、高精度的要求。模組化設計，降低導入時間及減少人工成本。

➤ 適用各種精密量測製程精準對位
適用產業：Micro LED、半導體AOI、PCB檢測、自動化精密量測、雷射切割。

➤ 零磨耗，無需使用潤滑油採用非接觸式空氣軸承驅動，移動時元件間無機械接觸，不會隨著時間推移而產生磨耗或性能下降。
使用壽命無限，無潤滑油污染平台，只需氣體驅動，是潔淨室和醫療應用的理想選擇。
無塵等級：Class 1

➤ 精密幾何精度
容易實現超高六個自由度(線性精度、水平直線度、垂直直線度、Yaw、Pitch、Roll)以及軸與軸間之正交度。

➤ 優異速度漣波表現
➤ 奈米級直線度/平面度