次系統運動控制平台
東佑達奈米擁有精確的運動控制技術，並結合台灣製造的成本優勢，實現高階定位設備的在地化製造。
線馬空氣軸承
XYZ龍門雙驅平台
非接觸式空氣軸承結構，內部預壓設計提升穩定度，無需潤滑好保養。
線馬空氣軸承
XY共面式平台
氣浮平台的應用在曝光設備中，尤其重視定位精度及潔淨室適用性。
線馬空氣軸承
XYZ龍門式平台
XY全氣浮設計，優異的速度穩定性，於低速時仍具極佳之速度穩定性。
線馬空氣軸承
XYZR龍門平台
非共面式空氣軸承，免保養、壽命極佳、定位精度高、溫度影響低。
線馬空氣軸承
XY直交平台
XY Stage低重心設計，搭配無鐵心式馬達，Z軸採螺桿架構。
線馬機械軸承
XY直交平台
低重心設計，整定時間快，搭配無鐵心線馬，擁有良好速度漣波。
線馬機械軸承
XYZ跳水式平台
高剛性花崗石結構、具極佳性價比，適合視覺檢測定位應用。
線馬機械軸承
XYZR龍門平台
輕量化龍門架構，可大幅減輕重量，龍門雙驅動，可作業更大面積。
線馬機械軸承
大型多動子龍門雙驅平台
多動子同動，上軸側掛多動子使用，適用大面積、多工位應用。
線馬機械軸承
XYZ龍門式平台
高剛性花崗石龍門架構，搭配防塵護套，全密封閉架構，適合高粉塵之環境。
線馬機械軸承
龍門雙驅平台
高剛性花崗石底座，抑振效果佳，適用高加減速定位、高定位精度應用。
標準定位模組
東佑達奈米擁有精確的運動控制技術，並結合台灣製造的成本優勢，實現高階定位設備的在地化製造。
空氣軸承模組
專利氣浮軸承結構，能在毫秒等級內達成奈米級定位精度，大幅減少運動控制整定時間與元件磨耗率。
超高精度傳動模組
採用高剛性鑄鐵結構，減振效果佳，熱膨脹係數為鋁材質的1/2，可減少溫度變化造成的精度誤差。
XY中空定位平台
中空型設計，可作雙面加工、檢測使用，適用於各種需要通過中空平台進行傳輸或連接場合。
精密升降平台
中空型設計，可作雙面加工、檢測使用。採用楔形結構，小巧緊湊，高精度上下方向定位的升降工作台。
XY共面氣浮平台
採用 XY軸共面平台，避免機構堆疊式的累積誤差，提供一致的平面基準，大幅提升整體平面度與定位精度。
XYZ微型線馬平台
小型XYZ平台模組，適合快速、精確定位、高負載力矩與無頓點平順運動的應用。
大中空精密旋轉平台
低床型結構，節省空間緊湊設計，320mm大中空直徑，可做精密檢測使用。
市場與應用
從半導體到光電產業，探索我們解決方案的無限應用可能
顯示器
自動化
生技醫藥
半導體產業
PCB
關於東佑達奈米
專業開發製造 奈米級空氣軸承平台、線性馬達平台、精密氣浮單軸平台 等自動化傳動元件。
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