次系統運動控制平台
東佑達奈米擁有精確的運動控制技術，並結合台灣製造的成本優勢，實現高階定位設備的在地化製造。
次系統運動控制平台
XYZ龍門雙驅平台
非接觸式空氣軸承結構，內部預壓設計提升穩定度，無需潤滑好保養。
次系統運動控制平台
XY共面式平台
氣浮平台的應用在曝光設備中，尤其重視定位精度及潔淨室適用性。
次系統運動控制平台
XYZ龍門式平台
XY全氣浮設計，優異的速度穩定性，於低速時仍具極佳之速度穩定性。
次系統運動控制平台
XYZR龍門平台
非共面式空氣軸承，免保養、壽命極佳、定位精度高、溫度影響低。
次系統運動控制平台
XY直交平台
XY Stage低重心設計，搭配無鐵心式馬達，Z軸採螺桿架構。
次系統運動控制平台
XY直交平台
低重心設計，整定時間快，搭配無鐵心線馬，擁有良好速度漣波。
次系統運動控制平台
XYZ跳水式平台
高剛性花崗石結構、具極佳性價比，適合視覺檢測定位應用。
次系統運動控制平台
XYZR龍門平台
輕量化龍門架構，可大幅減輕重量，龍門雙驅動，可作業更大面積。
次系統運動控制平台
大型多動子龍門雙驅平台
多動子同動，上軸側掛多動子使用，適用大面積、多工位應用。
次系統運動控制平台
XYZ龍門式平台
高剛性花崗石龍門架構，搭配防塵護套，全密封閉架構，適合高粉塵之環境。
次系統運動控制平台
龍門雙驅平台
高剛性花崗石底座，抑振效果佳，適用高加減速定位、高定位精度應用。
標準定位模組
東佑達奈米擁有精確的運動控制技術，並結合台灣製造的成本優勢，實現高階定位設備的在地化製造。
空氣軸承模組
專利氣浮軸承結構，能在毫秒等級內達成奈米級定位精度，大幅減少運動控制整定時間與元件磨耗率。
超高精度傳動模組
採用高剛性鑄鐵結構，減振效果佳，熱膨脹係數為鋁材質的1/2，可減少溫度變化造成的精度誤差。